تجهیزات ضروری شامل فیلترهای HEPA، سیستم‌های تهویه مطبوع، سیستم‌های کنترل دما و رطوبت، تجهیزات نظافتی و مبلمان ضدعفونی‌شونده است.

اتاق تمیز یک محیط کنترل‌شده است که در آن میزان آلودگی هوا، دما، رطوبت و سایر پارامترهای محیطی به دقت کنترل می‌شود تا فرآیندهای حساس مانند تولید دارو، تجهیزات پزشکی و تحقیقات علمی انجام شود.

برای اتاق‌های تمیز باید از سیستم‌های تهویه مطبوعی استفاده شود که قادر به تصفیه هوای ورودی و نگهداری فشار مثبت یا منفی اتاق باشند. همچنین، استفاده از فیلترهای HEPA یا ULPA برای جذب ذرات معلق در هوا ضروری است.

برای پیروی از استانداردهای ISO 14644، باید طراحی سیستم تهویه، انتخاب تجهیزات، و فرآیندهای نظافت و کنترل کیفیت دقیقاً مطابق با این استانداردها انجام شود.

کیفیت هوا در اتاق تمیز معمولاً با استفاده از تجهیزات سنجش ذرات، اندازه‌گیری دما، رطوبت، و فشار، و همچنین آزمایش میزان آلاینده‌های شیمیایی کنترل می‌شود.